플라즈마 - (물질의) 잊혀진 상태
플라즈마 공정의 다물리 시뮬레이션을 통한 반도체 제조 혁신
플라즈마는 우주에서 가장 풍부한 물질 상태지만 이해하기란 쉽지 않습니다. 플라즈마라는 물질 상태는 아직 설명 및 규명되지 않아 아직도 매우 활발하게 연구되고 있는 주제입니다.
본 웨비나에서는 예제를 포함한 주요 분류를 비롯하여 플라즈마의 기초 물리학에 대해 설명합니다. 또한Simcenter STAR-CCM+ 시뮬레이션 소프트웨어를 사용하여 구체적인 사례를 다뤄봅니다.
특히 반도체 제조 애플리케이션에 초점을 맞출 것입니다. 이 경우에 여러 제조 단계의 플라즈마 공정은 우리가 매일 사용하는 장치와 시스템용 고품질 칩을 효율적으로 제조하는 데 필수적입니다.
주제:
- 주요 분류를 포함한 플라즈마의 기본 원리
- 우리 주변 세상의 플라즈마 예시
- 반도체 제조 애플리케이션의 플라즈마 시뮬레이션